SK머티리얼즈, 반도체 공정용 산업가스 누출… "인명 피해 없다"
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  • 최초승인 2018.04.13 11:04:30
  • 최종수정 2018.04.14 20:42
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반도체 생산공정에 사용되는 산업가스를 제조하는 SK머티리얼즈의 경북 영주공장에서 13일 오전 6시30분, 육불화텅스텐(WF6)이 누출되는 사고가 발생했다. 다행히 인명 피해는 없었고 현재는 사고 원인을 파악하는 등 사고 수습에 들어간 상황이다.

WF6는 삼불화질소(NF3)와 더불어 SK머티리얼즈가 주력으로 생산하는 반도체 공정용 가스로 사람이 들이마시면 호흡기가 손상될 수 있다. 이날 누출된 1.8t 규묘의 WF6가 인근 주민들에게 노출됐는지 SK머티리얼즈는 현재 파악 중이다. 현장 작업자들은 보호장비를 하고 있어 피해를 입지 않은 것으로 알려지고 있다. 

SK머티리얼즈는 SK그룹이 지난 2015년 11월 OCI로부터 인수한 회사로 NF3 생산에서 독보적인 위치를 유지하고 있다. SK머티리얼즈는 세계 NF3 점유율 40%를 확보하고 있다. 

윤희성 기자 uniflow84@pennmike.com

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